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產品詳情
  • 產品名稱:Symetrie Nanopos 6-D Hexapod

  • 產品型號:
  • 產品廠商:Symetrie
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簡單介紹:
NANOPOS六軸并聯定位臺 Nanometer resolution miniature hexapod
詳情介紹:



  • 水平運動分辨率10nm
  • 角度運動分辨率1μrad
  • 負載達500g
  • 中間位置高度68mm

  • 主要參數


NanoPos
運動及定位
行程Tx,Ty(mm) ±5
行程Tz(mm) ±4
行程Rx,Ry(deg) ±7
行程Rz(deg) ±10
分辨率Tx,Ty(nm) 10
分辨率Tz(nm) 10
分辨率Rx,Ry(μrad) 1
分辨率Rz(μrad) 1
重復精度Tx,Ty(nm) ±75
重復精度Tz(nm) ±75
重復精度Rx,Ry(μrad) ±2
重復精度Rz(μrad) ±2
機械特性
負載(kg)(垂直方向/水平方向) 0.5
電機類型 陶瓷電機
NanoPos
其它特性
工作溫度(℃) +5~+40
材料 鋁,銦鋼,陶瓷,不銹鋼
運動臺面(mm) Φ70
中孔(mm) Φ32
中間位置高度(mm) 68
質量(kg) 505
線長(m) 1.2
可選項 用戶可以定制平臺面;更大行程;真空兼容;無磁應用;尺寸可擴展
控制器
控制類型 CAPELLA
接口 Ethernet,USB,串口(RS-232)
輸出功率 110-240 VAC/ 50-60Hz

尺寸圖

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